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Number of Access this item:883（2024-04-26 21:06 Counts）

Identifier to cite or link to this item: https://hdl.handle.net/10086/18671

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070iirWP10_06 pdf 1.43 MB 2,387

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Title
リソグラフィとITRS
リソグラフィ ト ITRS
Creator
Creator Name
龜山, 雅臣 龜山, 雅臣
Affiliation
Affiliation Name
一橋大学
Abstract
ITRSのロードマップ活動は社会的に認知され、半導体以外の産業でもロードマップが策定されるようになった。一方でITRS はIntelロードマップとも呼ばれることがあり、特定企業に有利とその意義に疑問が持たれた事もあった。本論文では半導体産業が発展し続けるために追求する微細化とITRSの現状を議論し、微細化を支えるリソグラフィ技術とITRSのかかわりに触れた後、ITRSの半導体産業内での意義、功罪、そして誰がロードマップで利益を得るかを議論した。現在のように寡占化が進んだ半導体素子製造の業界においてロードマップは、技術での不意打ちを避ける手段として、また研究開発費の低減の手段として業界の勝者に有利で、王者の戦略と言える。
Publisher
Institute of Innovation Research, Hitotsubashi University
Issued Date
2010-09
Language
Japanese(jpn)
Resource Type
technical report
Version Type
VoR
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Related Title
IIR Working Paper ; No. 10-06
Number of Pages
31
Appears in Collections
IIR Working Paper
URL
https://hdl.handle.net/10086/18671